BRUKER布鲁克台阶仪DektakXT接触测量轮廓仪核心技术参数
BRUKER布鲁克台阶仪DektakXT接触测量轮廓仪是一款高性能的纳米尺度表面轮廓测量仪器,其核心技术参数如下:
测量性能
台阶高度重复性:优于5Å(在1μm台阶上),确保了测量的高精度和可靠性,满足纳米级测量需求。
垂直方向分辨率:最大1Å(在6.55μm垂直范围下),提供了纳米尺度的表面轮廓测量能力,能够清晰捕捉样品表面的细微特征。
测量范围:支持二维表面轮廓测量,可选配三维测量功能,满足不同应用场景的测量需求。
机械结构与设计
设计结构:采用单拱龙门式设计,提高了扫描稳定性,降低了周围环境中声音和震动噪音对测量信号的影响。
探针压力:探针压力范围在1-15mg,适应不同样品的测量需求,保护样品表面不被损伤。
扫描长度:扫描长度范围从50μm到55mm,提供了灵活的测量选项,适应不同尺寸样品的测量。
电子与数据处理
